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张江集成电路园区笼罩在超净间的淡紫微光里,钱胜的罡气在极紫外光刻机的反射镜表面激起纳米级涟漪。芯片制造首席工程师的防尘服袖口沾着蚀刻液灼痕,指尖划过晶圆盒:
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